레어가스
희귀 가스로도 알려진 희소한 가스는 인간에게 알려진 가장 불활성적이고 비반응적인 원소입니다. 레어가스는 매우 낮은 농도로 발견되며 공기 분리 장치(ASU)를 통해 생산됩니다. 독특한 화학적 특성으로 인해 전문가들은 매우 새롭고 흥미로운 응용 분야를 찾아 냈습니다.
창문 단열에서 크립톤은 열전도율이 낮고 상대적으로 밀도가 높은 기체이기 때문에 유용합니다. 2 겹 또는 3 겹 창 평면 사이에서 충진 가스로 사용되는 경우 열 절연을 증가시키고 태양 복사를 줄여 에너지 절약 창을 만듭니다. Air Products는 크립톤, 크세논 및 희귀가스 혼합액을 생산하여 R- 값을 높이고 요구 사항에 따라 창문과 문의 U- 요소를 줄입니다.
조명 가스로서 크립톤은 청록색 빛을 띠며 할로겐 전구, 에너지 절약 전구, 심지어는 네온 사인 가스 방전관에도 사용됩니다. 질소 또는 아르곤 대신에 크립톤을 사용하면 크립톤의 안정성이 높고 반응이 없기 때문에 전구의 수명이 크게 늘어납니다.
희귀 가스로도 알려진 희소한 가스는 인간에게 알려진 가장 불활성적이고 비반응적인 원소입니다. 레어가스는 매우 낮은 농도로 발견되며 공기 분리 장치(ASU)를 통해 생산됩니다. 독특한 화학적 특성으로 인해 전문가들은 매우 새롭고 흥미로운 응용 분야를 찾아 냈습니다.
제논은 반도체 제조에서 마이크로 칩의 에칭 및 증착에 분위기, 플라즈마 및 에칭 및 증착 공정을위한 이온 빔 소스로 사용됩니다. 이 공정에서 사용되는 제논은 불순물이 실리콘 기판을 오염 시키거나 불소와 같은 공정 화학 물질과 반응하여 유독하고 부식성이 강한 플루오르 화 수소 (HF)를 생성하게되므로 매우 순수해야합니다. 전자 산업 분야의 글로벌 리더 인 Air Products의 제논은 최첨단 전자 제품 등급 공장에서 생산되어 품질 보증을 개선합니다. 엑시머 레이저, 레이저 버퍼 가스, DRAM 에칭, 3D NAND 및 플라즈마 디스플레이 패널에 사용할 수 있습니다.
Air Products는 대형 공기 분리 플랜트에서 초 고순도 6.0 등급 가스에 이르기까지 모든 요구 사항을 충족하는 유연한 공급 옵션을 제공합니다.